 临港新片区还将推动化合物半导体产业实现由国内引领向国际领先跨越，推进6英寸、8英寸GaAs、GaN和SiC工艺线建设，面向5G、新能源汽车等应用场景，加快化合物半导体产品验证应用。 同时，临港新片区将构建芯片装备材料硬核产业集群，推动集成电路装备产业规模化发展，重点支持12英寸高端刻蚀、清洗、离子注入、光刻、薄膜、湿法、热处理以及光学量测等设备的研发和产业化；支持硅材料产业做大作强，继续提升12英寸大硅片技术与产能；积极引进国内外光刻胶、掩膜板、第三代半导体等材料企业，加强关键材料的本地化配套能力。 在全产业链提升工程方面，临港新片区将引导区内集成电路全产业链发展，推进强链、补链、扩链、融链工作，打造新片区集成电路产业的整体优势和集群竞争力。 具体来说，临港新片区将结合区内产业特色，重点支持EDA设计工具及关键IP，积极引进国内外EDA工具/IP企业，支持EDA工具/IP企业与龙头设计、代工企业合作开发工艺套件，支持针对汽车电子、5G、工业互联网等重点领域的EDA工具/IP开发。 同时，临港新片区将支持智能网联新能源汽车、工业互联网、高端装备等临港重点产业配套关键核心芯片，围绕重点企业加强供应链安全需求，推动自主核心芯片研发，打造系统解决方案。 不仅如此，临港新片区还将重点支持高端芯片，面向AI、5G射频、功率芯片、相变存储器（PCRAM）、阻变存储器（RRAM）等上海尚未有显著布局的新兴领域实现增量发展；四是智能传感芯片，聚焦物联网及智能终端、无人驾驶、智慧医疗、工业互联网等重点应用领域，推动自主智能传感器产品创新及商业化应用。 在核心技术创新卓越工程方面，新片区将围绕国家、上海的战略需求，组织EDA工具/关键IP、光刻机、光刻胶、大硅片、新型存储芯片等“卡脖子”关键技术攻关，积极引进国内外相关企业，加快形成技术突破及产业化落地方案。 相关报道:业内人士：除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机
今日中芯国际披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体设备制造商之一，主要业务为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先地位。具体来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。 众所周知，EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？记者从业内资深人士处了解到，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。 此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。 |
