 市场调研机构Semico Research的制造业务董事总经理乔安妮·伊托评论称，阿斯麦的EUV光刻系统过于昂贵，以至于大多数公司都买不起。她认为，这会把很多厂商排除在市场之外，包括芯片制造商格罗方德。由于成本太高，格罗方德于2018年宣布停止7nm及以下先进制程的研发。 如今，阿斯麦EUV光刻机的客户只有五家（台积电、三星、英特尔、SK海力士和美光）。2021年，最大的三个客户——台积电、三星和英特尔占阿斯麦业务量的84%。台积电表示，该公司在2019年率先采用EUV光刻机大规模量产芯片，从那之后一直处于领先地位，芯片制程至少领先三星和英特尔一个节点。 CNBC认为，阿斯麦在光刻机领域的主导地位仍是“一个相对较新的现象”。10年前，该公司开始进军EUV研发是由英特尔、三星和台积电的重大投资决定的。 “我们没有钱，”1999年加入阿斯麦的温彼得表示，“所以我们出去寻找合作伙伴，这实际上是我们建立公司的基础。我们也因此被迫成为一个系统架构师和系统集成商。” 把时间拉回到1984年，阿斯麦刚成立时是荷兰电子巨头飞利浦的子公司。在荷兰艾恩德霍芬飞利浦办公大楼旁边一间漏水的小屋子里，阿斯麦推出第一台用于半导体光刻的设备，这种技术是20世纪50年代在美国军事实验室发明的。
阿斯麦开启光刻机研发的地方 图源：ASML “第一台光刻工具看起来就像一个投影仪，”阿斯麦负责EUV业务的执行副总裁克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）表示，“基本上会有一个标线，用来保存你想要投射的影像。然后有一个光学系统，它会把图像投射到晶圆上。” 到1988年，阿斯麦在美国拥有5个办事处，共有员工84人，并在荷兰费尔德霍芬设置一个新的办事处，该办公室最终成为该公司总部。 “当半导体行业准备进入EUV研究的早期阶段时，没有一家美国公司准备冒险尝试这个昂贵而有风险的项目，但阿斯麦做出了不同的选择，”即将出版的《芯片战争：世界最关键技术之战》一书的作者米勒表示，“阿斯麦是一家荷兰公司，但它也是一家严重依赖美国零部件的荷兰公司，尤其是在其设备上。” “这是政府们的选择” EUV光刻机由来自全球近800家供应商的多个模块和数十万个零部件组成。每个模块都在阿斯麦全球60个办公室中进行研发生产，然后运往费尔德霍芬进行组装。每台组装好的机器经过测试后，就会被拆解，然后发运给芯片制造商。EUV光刻机的运输需要20辆卡车和三架满载的波音747飞机。 中国大陆是阿斯麦没有出口EUV技术的国家或地区一。“全球42个国家（《瓦森纳协定》成员国）已经同意对其实施出口管制，因为它非常关键，”温彼得称，“所以这不是我们的选择，而是政府们的选择。” 美国对荷兰政府的施压早在特朗普任期内便已开始。据时任美国总统副国家安全顾问的查尔斯·库珀曼（Charles Kupperman）回忆，他2019年曾邀请荷兰外交官前往白宫，并向后者施压，称“忠实的盟友”不会向中国大陆出售EUV这类设备。库珀曼还警告荷兰方面，如果没有美国的零部件，阿斯麦的设备就无法运转，而白宫有权限制这些零部件向荷兰出口。 “中国（大陆）想要加入这场竞赛，”Semico Research的乔安妮·伊托表示，“但由于政治原因，中国（大陆）无法获得这项技术。”
极紫外光刻机在工作 图源：阿斯麦 不过，阿斯麦在用另一种方式和中国大陆做生意。该公司更新了被称为深紫外线（DUV）的老式光刻系统，并将其中的许多设备卖给中国大陆。温彼得透露，阿斯麦售出的设备中96%仍在使用。 “关于向中国大陆出售更多的DUV设备，提高其生产接近尖端半导体的能力，是否也是一种‘国家安全风险’，这其中存在很多争议，”米勒称，“我认为，在未来几年，阿斯麦向中国出售DUV设备的能力可能也会受到新的限制。” |
